News
UNAM I. Uluslararası Temizoda Eğitimi Çalıştayı'na Ev Sahipliği Yaptı
UNAM (Ulusal Nanoteknoloji Araştırma Merkezi), 21 Haziran – 4 Temmuz 2010 tarihleri arasında ilki gerçekleştirilen “Uluslararası Temizoda Eğitimi Çalıştayı” programına ev sahipliği yaptı. UNIDO (Birleşmiş Milletler Sınai Kalkınma Teşkilatı) ve UNAM işbirliği ile düzenlenen ve T.C. Sanayi ve Ticaret Bakanlığı ve TİKA (Türk İşbirliği ve Kalkınma İdaresi Başkanlığı) tarafından desteklenen çalıştaya 20 farklı ülkeden toplam 48 (31 uluslararası + 17 ulusal) bilim insanı, araştırmacı, kamu ve özel sektör profesyonelleri, ve yüksek lisans/doktora öğrencileri katıldı. 19 farklı ülkeden 31 uluslararası katılımcının ülke dağılımı şu şekilde oluştu:
Azerbaycan (5) |
Gürcistan (2) |
Moğolistan (1) |
Sudan (1) |
Bangladeş (1) |
Irak (1) |
Moldovya (2) |
Suriye (2) |
Belarus (2) |
İran (1) |
Özbekistan (1) |
Tacikistan (1) |
Bosna-Hersek (1) |
Kazakistan (2) |
Pakistan (2) |
Ukrayna (2) |
Ermenistan (2) |
Kırgızistan (1) |
Sırbistan (1) |
|
15 farklı kurumdan 17 ulusal katılımcının dağılımı ise aşağıdaki gibi oluştu:
ASELSAN A.Ş. – Ankara (2) |
Melikşah Üniversitesi – Kayseri (1) |
Atatürk Üniversitesi – Erzurum (1) |
Niğde Üniversitesi – Niğde (1) |
Bilkent Üniversitesi – Ankara (2) |
Orta Doğu Teknik Üniversitesi – Ankara (1) |
BİLUzay – Ankara (1) |
Pamukkale Üniversitesi – Denizli (1) |
Cumhuriyet Üniversitesi – Sivas (1) |
ROKETSAN – Ankara (1) |
Harran Üniversitesi – Urfa (1) |
Sanayi ve Ticaret Bakanlığı – Ankara (1) |
İstanbul Teknik Üniversitesi – İstanbul (1) |
Türk Standardları Enstitüsü – İzmit (1) |
Karadeniz Teknik Üniversitesi – Trabzon (1) |
|
Çalıştayın açılış programına katılan T.B.M.M., Sanayi ve Ticaret Bakanlığı, TİKA, UNIDO, Bilkent Üniversitesi ve UNAM temsilci ve yetkilileri, bunun gibi uluslararası toplantıların önemine vurgu yaparak benzer programların sadece bilimsel ve teknolojik bilgi ve tecrübe paylaşımı sağlamadığını, ayrıca ülkeler arasında politik olmayan yeni ve güçlü bağların oluşmasını ve alternatif sahalarda yeni işbirliklerine zemin hazırladığına dikkat çektiler. Açılış konuşması yapan saygıdeğer konuklardan Bilkent Üniversitesi Başkanı Sayın Prof. Ali Doğramacı, UNAM Enstitü Müdürü Sayın Prof. Salim Çıracı, UNIDO Saha Operasyonları Görevlisi Sayın Dalibor Kysela, UNIDO Bölgesel İşbirliği Merkezi Direktörü Sayın Süleyman Yılmaz, TİKA Başkan Yardımcısı Sayın Dr. Mustafa Şahin, Sanayi ve Ticaret Bakanlığı Avrupa Birliği Koordinasyon Genel Müdürlüğü Direktör Yardımcısı Sayın İsmail Kayıplar, ve Ankara Milletvekili Sayın Reha Denemeç programda emeği geçen kişi, kurum ve kuruluşlara teşekkür ederek çalıştay katılımcılarına hoş geldiniz ve başarı dileklerini sundular.
Çalıştayın ilk hafta programında ders, seminer ve temizoda laboratuvar tesisi ziyaretleri vardı. İkinci haftada ise UTL’de laboratuvar uygulamaları ve ekipman tanıtımları gerçekleştirildi. Çalıştay sonunda eğitimlerini tamamlayan katılımcılara UNIDO, Sanayi ve Ticaret Bakanlığı ve UNAM tarafından imzalı katılım sertifikaları verildi.
Çalıştayın ilk gününde UNAM Temizoda Laboratuvarı (UTL) koordinatörü Dr. Necmi Bıyıklı tarafından UTL’nin tarihçesi, kurulum aşamaları, altyapı ve ekipman envanteri hakkında detaylı bilgi verildi. Dr. Bıyıklı ayrıca temizoda laboratuvar güvenliği konusunda bir seminer sundu. Günün sonunda UNAM binasındaki tüm laboratuvarlar ziyaret edildi ve UTL oryantasyon program ve temizoda turu gerçekleştirildi. İkinci, üçüncü ve dördüncü günlerde katılımcılara, Bilkent Üniversitesi ve UNAM öğretim üyelerinden Dr. Aykutlu Dana, Dr. Bilge İmer, Dr. Ali Kemal Okyay ve Dr. Necmi Bıyıklı tarafından temizoda mikro/nano-fabrikasyon teknikleri, prosesleri ve ekipmanları konularında dersler verildi. Litografi, ince-filim kaplama, kimyasal ve plazma filim aşındırma, epitaksiyel ince filim büyütme ve kimyasal buhar kaplama, malzeme ve aygıt karakterizasyonu teknik ve teknolojileri hakkında detaylı bilgiler verildi. Dördüncü gün öğleden sonra ASELSAN Akyurt tesislerindeki Temizoda Laboratuvarı gezildi.
Beşinci ve altıncı gün Türkiye’nin ve dünyanın seçkin üniversitelerinden gelen toplam 9 akademisyen, temizoda laboratuvarı ortamında gerçekleştirdikleri malzeme ve aygıt araştırmalarını çalıştay katılımcılarıyla paylaştılar. Sırasıyla Dr. Saif Islam (University of California at Davis), Dr. Haluk Külah (ODTÜ), Dr. Hakan Ürey (Koç Universitesi), Dr. Tayfun Akın (ODTÜ), Dr. Mehmet Bayındır (Bilkent Üniversitesi), Dr. Erdem Alaca (Koç Üniversitesi), Dr. Cem Öztürk (Sabancı Üniversitesi), Dr. Feridun Ay (University of Twente) ve Dr. Bedri Çetiner (Utah State University) verdikleri seminerler ile temizoda mikro ve nano-fabrikasyon teknolojisinin çok değişik uygulamalarda kullanıldığını katılımcılara detaylı bir şekilde göstermiş oldular. Ayrıca 5.gün öğleden sonra ODTÜ-MEMS tesisindeki temizoda laboratuvarları gezildi ve ODTÜ-MEMS direktörü Dr. Tayfun Akın’dan tesis ve ekipman envanteri hakkında bilgi alındı.
Günübirlik yapılan Kapadokya gezisinin ardından başlayan ikinci haftada, laboratuvar uygulamalarının ve ekipman gösterimlerinin daha verimli olması amacıyla 48 kişilik çalıştay grubu 12’şer kişilik 4 alt gruba bölündü. 5 gün boyunca 2 grup UNAM Temizoda Laboratuvarı’nda iki farklı ekipman ile (UTL) laboratuvar uygulaması yaparken, 2 grup da ekipman üreticisi şirketlerin düzenlediği seminer ve ekipman uygulaması ve gösterimine katıldılar. Bu şekilde her bir alt grup 5 günde, Dr. Necmi Bilir ve Dr. Necmi Bıyıklı koordinatörlüğünde ve UTL mühendis ekibi (Semih Yaşar, Mustafa Kemal Ruhi, Adem Saraç ve Fikret Piri) yönetiminde aşağıdaki 5 ayrı laboratuvar uygulamasını gerçekleştirdi:
- Plazma katkılı kimyasal buhar kaplama (PECVD) sistemi ile SiO2 ince filmin kaplanması ve elipsometre sistemi ile SiO2 filminin kalınlığının ve kırınım katsayısının ölçülmesi
- Elektron-demeti buharlaştırma sistemi ile metalik Cr filmin kaplanması
- Maske tasarımı, üretimi ve fotolitografi işlemi (örnek temiziği, fotorezist kaplama, maske hizalama ve ışınlama, develop etme, optik mikroskop analizi)
- Cr, SiO2 ve Si katmanların ıslak (kimyasal) ve kuru (plazma) aşındırma teknikleri ile aşındırma işlemlerinin gerçekleştirilmesi, yüzey profilometre sistemi ile aşınma derinliğinin ölçülmesi
- Taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve beyaz-ışık interferometrik profilometre sistemleri ile fabrikasyonu tamamlanan cantilever örneklerinin 3 boyutlu görüntülenmesi
Katılımcılar ayrıca, UTL’deki ekipmanları üreten şirketlerden bazılarının temsilcileriyle tanışma ve ekipman envanter, teknoloji ve uygulamalarını yakından görme ve inceleme fırsatını buldular. Çalıştaya katılıp temizoda eğitimini zenginleştiren aşağıdaki 5 şirket ve Türkiye temsilcileri ve sergiledikleri ekipman ve teknolojiler aşağıda sıralanmıştır:
- FEI (Hollanda) + Anatek (temsilci): Elektron mikroskopları (SEM, TEM), E-demet litografi sistemleri ve odaklı iyon demeti (FIB) cihazları
- EVG (Avusturya) + İmtek (temsilci): Litografi cihazları ve maske hizalama ve ışınlama cihazları, fotolitografi uygulaması
- Thermo Fisher Scientific (Almanya) + Redoks (temsilci): X-ışını Foto-elektron Spektroskopi (XPS) sistemleri
- Cascade Microtech (Almanya) + Spark Ölçüm Teknolojileri (temsilci): DC ve RF Probe İstasyonları, elektriksel karakterizasyon
- VAKSİS (Türkiye): İnce filim vakum kaplama sistemleri (termal buharlaştırıcı, elektron-demet buharlaştırıcı, saçtırma ve PECVD sistemleri)
İkinci haftanın sonunda eğitimlerini başarıyla tamamlayan 48 katılımcıya UNIDO, Sanayi ve Ticaret Bakanlığı ve UNAM tarafından imzalı katılım sertifikaları verildi. Kapanış yemeğiyle sona eren programda herkesin ortak dileği bu çalıştayın yeni işbirlikleri ve ortak araştırmalar için bir başlangıç teşkil etmesi hususu oldu.
UNAM olarak programda emeği geçen UNAM akademik, idari, teknik ve destek personeline, seminer vermek üzere çalıştaya katılan değerli akademisyenlere, temizoda laboratuvarlarını gezdiğimiz ASELSAN ve ODTÜ-MEMS yetkili ve görevlilerine, Bilkent Üniversitesi Yurtlar Müdürlüğü’ne, Bilkent Üniversitesi Kafeteryalar Müdürlüğü’ne, programın düzenlenmesini sağlayan UNIDO, Sanayi ve Ticaret Bakanlığı, TİKA ve Bilkent Üniversitesi’ne teşekkür ediyoruz.
