Temiz oda

UNAM Proje Tanımlama Formu

UNAM, 400 metrekarelik alanıyla Türkiye'nin en büyük temiz oda laboratuvarına ev sahipliği yapmaktadır. Laboratuvar sınıf 100 ve sınıf 1000 temiz alanlardan oluşmakta olup fonksiyon olarak 4 bölüm içermektedir: (1) Malzeme büyütme bölümü (2) Litografi bölümü - Sarı oda (3) ince film kaplama ve aşındırma bölümü (4) Aygıt karakterizasyonu bölümü. UNAM Temiz oda Laboratuvarı (UTL), araştırmacıların istedikleri malzemelerin büyütülmesi, büyütülen malzemelerin üzerine tasarlanan aygıtın fabrikasyonunun yapılması ve üretilen aygıtın performansının ölçülmesi işlemlerinin tamamını aynı laboratuvar içerisinde yapmalarına imkan verecek şekilde tasarlandı. UTL Türkiye'deki tüm araştırmacıların (akademik çalışmalar, araştırma enstitüleri, özel sektör Ar-Ge departmanları ve devlet kurumları) kullanımına açılmış olup Türkiye'deki ilk ulusal kullanıcı laboratuvarı olarak hizmet vermektedir.

Ekipmanlar

Automatic/Manual Gas Cabinets with Ultrapure Process Gases
Stainless Steel Process Gas Lines
Scrubber System for Toxic Waste Process Gases
Ultrapure De-ionized Water Generator Syste
Asher
Atomic Layer Deposition (ALD)
Atomic Layer Deposition (ALD)
Critical Point Dryer
Dicing Saw
E-Beam Evaporation
E-Beam Lithography
Hot Plates
Inductively Coupled Plasma (III-V)
Inductively Coupled Plasma (Si)

LCR Meter
LPCVD
Mask Aligner
Mask Aligner with Nanoimprint Lithography
Mask Writer
Network Analyzer
Optical Microscopes
Optical Profilometer
Optical Spectrum Analyzer
Organic Thin Film Evaporator
Oxidation Furnace
Parameter Analyzer
PECVD

Probe Stations
Rapid Thermal Annealing (RTA)
Scanning Electron Microscope (SEM)
Semiconductor Parameter Analyzer
Signal generator
Spectrum Analyzer
Spinners
Sputtering System
Stylus Profilometer
Thermal Evaporator
Thermal Evaporation System
Vacuum Ovens
Wire Bonder